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为什么磁控溅射要抽真空?为什么磁控溅射工艺中需要采用真空环境

  

为什么磁控溅射要抽真空?为什么磁控溅射工艺中需要采用真空环境

  

为什么磁控溅射要抽真空?为什么磁控溅射工艺中需要采用真空环境

  

为什么磁控溅射要抽真空?为什么磁控溅射工艺中需要采用真空环境

  溅射过程是通过电能,使气体的离子(可以理解为为气体颗粒)轰击靶材(一般是金属溅射物),就像砖头砸土墙,土墙的部分原子溅射出来,落在所要镀膜的基体上的过程。

  如果气体太多,气体离子在运行到靶材的过程中,很容易跟路程中的其他气体离子或分子碰撞,这样就不能加速,也溅射不出靶材原子来。所以需要真空状态。

  而如果气体太少,气体分子不能成为离子,没有很多可以轰击靶材,所以也不行。

  只能选择中间值,有足够的气体离子可以轰击靶材,而在轰击过程中,不至于因为气体太多而相互碰撞致使失去太多的能量的气体量。

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