机械加工设备要有高的精度，包括高的静精度和动精度，主要的性能指标有几何精度、运动精度(定位精度、重复定位精度)和分辨力等，如主轴回转精度、导轨运动精度、分度精度等。

　　目前，超精密车床的主轴回转精度大多在0.02～0.03μm，导轨直线度为0.025/1000000，定位精度为0.013μm，重复定位精度为0.006μm，进给分辨力为0.003μm，分度精度为0.5″。

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