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硅片是怎样制成集成电路的呢?硅片是怎样制成集成电路的呢英语

admin 发布于 2024-03-03

以TTL系列集成电路为例,从硅片到集成电路的工艺流程:从单晶硅上切割下来的硅片——磨光——抛光——氧化——光刻——埋层扩散——外延——氧化——光刻——隔离扩散——氧化——光刻——基区扩散——氧化——光刻——发射区扩散——真空镀铝——光刻——烧结(形成欧姆接触)——初测至此前道工序就算完成了...

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