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光刻层定义?光刻的定义

admin 发布于 2024-04-25

中文名关键光刻层外文名criticallayer在光刻中,有些光刻层的图形尺寸较大,例如,栅极之前的离子注入层,而有些光刻层的图形较小,如,栅极层和第一个金属层...

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