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我国在光刻机研制方面是否有专业的研发机构或团队?

admin 发布于 2022-08-03

答案是有的芯片加工其实是一个系统工程,其中光刻机的研制主要由各子系统及主系统集成几个方面组成,我国在2002年推出的“十五”规划中《国家科技16个重大专项》的(02专项)就是针对光刻机设备的研发...

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