为什么磁控溅射要抽真空?为什么磁控溅射工艺中需要采用真空环境
admin 发布于 2024-04-07
溅射过程是通过电能,使气体的离子(可以理解为为气体颗粒)轰击靶材(一般是金属溅射物),就像砖头砸土墙,土墙的部分原子溅射出来,落在所要镀膜的基体上的过程...
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